새 투명필름 제조기술 개발…꿈의 디스플레이

우리나라도 허공에 떠 있는 투명 필름에서 필요한 정보를 검색하는 신기술을 독자적으로 활용할 수 있게 됐다.

KAIST 전기전자공학과 박재우(44·사진)·유승협(36) 교수 연구팀은 삼성전자 LCD총괄, ㈜테크노세미캠과 공동으로 산화티타늄(TiO₂)을 이용해 투명 박막 트랜지스터(TTFT)를 만드는 신기술을 독자적으로 개발하는데 성공했다고 5일 밝혔다.

TTFT는 투명 디스플레이, 능동형 유기발광 다이오드(AMOLED), 굴곡형 디스플레이 등에 구동 회로로 쓰이는 것으로 미국 일본 등 선진국이 이미 3000여건의 관련 특허를 보유하고 있는 핵심기술이다. 하지만 미국 일본 등이 개발한 기술은 인듐(In)이나 갈륨(Ga)같은 희소성 금속을 사용해 제조비가 비싼데다 재현성, 신뢰성 등에 문제가 있는 산화아연(ZnO) 계열 기술들이다.

연구팀은 지구 상에 풍부한 금속자원인 티타늄을 활용했다. 또 기존 반도체·디스플레이 산업에서 검증받은 화학기상증착(CVD) 기법을 적용해 낮은 온도(250℃)에서 산화티타늄 박막을 형성하는 기술을 새로 개발했다.

연구팀은 이 기술에 관한 특허를 지난해 3월 국내에 선출원한 데 이어 지난 3월 미국과 일본, 유럽에도 출원했다. 박 교수는 “앞으로 신뢰성이 검증되고 대형 CVD장비에서의 양산 기술까지 확보되는 2∼3년 후 국내 업계에 이전, 세계 디스플레이 산업을 선도할 수 있도록 할 계획”이라고 말했다.